推力計，用于芯片推力測試的力學測量儀器。檢驗芯片與不同材料的焊接效果，實現對芯片結合力等測試功能的檢測。

老化臺，用于測試點亮LED光源產品在常溫，高溫、低溫、恒溫恒濕等溫度環境變化的性能；以及對LED光源進行脈沖壽命試驗，檢驗LED光源的開關性能驗證。

積分球，用于LED產品綜合性的電、光分析功能，可測量紫外LED光源的光譜功率分布，峰值波長、半寬度、ABC各波段的光譜輻通量、和特定波段內總輻射通量、電壓和電流等相關參數。

光學膜厚測試儀

膜厚測量儀是一種測量樣品的厚度、折射率（n, k）和表面粗糙度等信息的光學儀器，可支持不同光譜范圍，光譜范圍可達200-1700nm，主要測量SiO2膜厚、折射率、ITO膜厚、PR膜厚等。

探針式輪廓儀

探針式輪廓儀支持量測臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力的2D 測量。光學杠桿傳感器技術提供高分辨率測量，大垂直范圍和低觸力測量功能，主要測量PR厚度、MESA厚度、METAL厚度等。

自動倒裝UV測試機

自動倒裝UV測試機，適用于2～6寸LED晶圓的全自動測試，采用cassette自動上下片系統和八針測試，快捷方便產能高，可測量產品的工作電壓、開啟電壓、光功率、波長、漏電等光電性能參數。